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比利时微电子扣问中心（IMEC）5月21日公告称，将足下NanoIC侦察线，预测25亿欧元的投资将通过世界和私东说念主捐钱共同完成。欧盟资助谋划通过“芯片贯串体”（Chips Joint Undertakings）等提供14亿欧元，私东说念主捐钱改日自多个行业互助伙伴（包括ASML），总和将达到11亿欧元。